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測量2
反射型激光移位計 + X-Y載物臺
通過組合使用1D激光移位計與X-Y載物臺,可進行高精度的3D形狀測量。
要點
通過區分使用傳感頭,可測量各種高度的形狀。
還可測量透明體的3D形狀。
LK-G系列
三角測量方式
超高度392 kHz采樣
可連接12臺傳感頭
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SI系列
分光干涉方式
超分辨率1 nm
配備φ2 mm微型傳感頭
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tcm:115-1582376-64